23/02/2026, tại San Diego, California. Các nhà nghiên cứu tại ASML Holding đã công bố một bước tiến quan trọng trong công nghệ máy móc sản xuất chip, khi tìm ra cách tăng cường công suất của nguồn sáng EUV (Extreme Ultraviolet Lithography). Đột phá này có thể giúp tăng sản lượng chip lên tới 50% vào cuối thập kỷ này, giữ vững vị thế của công ty Hà Lan này trước các đối thủ từ Mỹ và Trung Quốc.
ASML, hiện là nhà sản xuất duy nhất các máy EUV thương mại trên thế giới, cung cấp thiết bị thiết yếu cho các nhà sản xuất chip lớn như Taiwan Semiconductor Manufacturing Co (TSMC), Intel và các công ty khác. Những máy móc này là công cụ quan trọng trong quá trình sản xuất các vi mạch máy tính tiên tiến, giúp các công ty này duy trì vị thế trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Michael Purvis, nhà công nghệ trưởng của ASML về nguồn sáng EUV, cho biết trong một cuộc phỏng vấn: "Đây không phải là một mánh khóe hay một thử nghiệm ngắn hạn để chứng minh rằng nó có thể hoạt động. Đây là một hệ thống có thể sản xuất 1.000 watt dưới tất cả các yêu cầu mà khách hàng của chúng tôi cần." Ông cũng giải thích rằng tiến bộ này được phát triển tại cơ sở của ASML gần San Diego, California.
Máy EUV và vai trò quan trọng trong sản xuất Chip
Máy EUV có vai trò quan trọng trong việc sản xuất chip đến mức chính phủ Mỹ đã hợp tác với các lãnh đạo Hà Lan để ngừng xuất khẩu các thiết bị này sang Trung Quốc, nhằm ngăn cản quốc gia này phát triển các máy móc tương tự. Đồng thời, ở Mỹ, các công ty khởi nghiệp như Substrate và xLight đã huy động được hàng trăm triệu đô la để phát triển các đối thủ của ASML, trong đó xLight đã nhận được sự hỗ trợ từ chính quyền Tổng thống Donald Trump.
Bằng cách công bố tiến bộ mới này, ASML kỳ vọng sẽ duy trì sự vượt trội của mình trên thị trường, đặc biệt trong việc cải thiện yếu tố công nghệ quan trọng nhất của các máy móc EUV. Tiến bộ này tập trung vào việc sản xuất ánh sáng EUV có công suất và đặc tính phù hợp để sản xuất chip với khối lượng lớn hơn. Công ty đã thành công trong việc tăng công suất nguồn sáng EUV lên 1.000 watt, từ mức 600 watt như hiện nay.
Tăng cường công suất để giảm chi phí
Lợi thế chính của tiến bộ này là khả năng tăng công suất, từ đó giúp các nhà máy chip sản xuất nhiều chip hơn mỗi giờ, đồng thời giảm chi phí sản xuất cho mỗi chip. Quá trình in chip sử dụng ánh sáng EUV chiếu lên tấm wafer silicon được phủ một lớp hóa chất đặc biệt gọi là photoresist. Với nguồn sáng mạnh hơn, các nhà máy chip sẽ cần ít thời gian tiếp xúc hơn, giúp nâng cao hiệu suất sản xuất.
Teun van Gogh, phó chủ tịch điều hành dòng máy NXE của ASML, chia sẻ rằng công ty muốn đảm bảo khách hàng có thể tiếp tục sử dụng công nghệ EUV với chi phí thấp hơn nhiều, đồng thời duy trì chất lượng và sản lượng ổn định.
Khả năng xử lý wafer tăng lên 330 mỗi giờ vào năm 2030
Van Gogh cho biết ASML kỳ vọng các khách hàng sẽ có thể xử lý khoảng 330 tấm wafer silicon mỗi giờ vào cuối thập kỷ này, tăng từ 220 wafer mỗi giờ hiện nay. Mỗi wafer có thể chứa từ vài chục đến hàng nghìn vi mạch, tùy thuộc vào kích thước của chip.
Để đạt được bước tiến này, ASML đã tập trung vào một phương pháp đã giúp các máy của công ty trở thành một trong những phát minh phức tạp nhất trong lịch sử nhân loại. Máy của ASML tạo ra ánh sáng EUV bằng cách phun giọt thiếc nóng chảy qua một buồng, nơi một tia laser carbon dioxide khổng lồ làm chúng nóng chảy thành plasma. Plasma này có nhiệt độ cao hơn mặt trời và phát ra ánh sáng EUV, được thu thập và đưa vào máy để in chip.
Các cải tiến gần đây của ASML bao gồm việc tăng gấp đôi số lượng giọt thiếc lên khoảng 100.000 giọt mỗi giây, đồng thời sử dụng hai đợt laser nhỏ để tạo plasma, thay vì chỉ dùng một đợt laser như trước đây. Jorge J. Rocca, giáo sư tại Đại học Bang Colorado, người đã đào tạo nhiều nhà khoa học cho ASML, đánh giá rằng việc đạt được công suất 1 kilowatt là một thành tựu đáng kinh ngạc.
Tương lai của công nghệ EUV
ASML tin rằng các kỹ thuật đã được phát triển để đạt 1.000 watt sẽ mở ra cơ hội tiếp tục nâng cao công suất trong tương lai. Purvis cho biết: "Chúng tôi thấy một con đường khá rõ ràng hướng tới 1.500 watt và không có lý do cơ bản nào khiến chúng tôi không thể đạt được 2.000 watt."
Với những tiến bộ này, ASML không chỉ củng cố vị trí dẫn đầu trong ngành công nghiệp sản xuất máy EUV mà còn mở ra tiềm năng để các nhà sản xuất chip tăng cường hiệu suất và giảm chi phí trong suốt thập kỷ tới.
Nguồn: http://reuters.com
Ngành bán dẫn tại Việt Nam trong năm 2026
